第一代：銀離子凈化技術(shù)
簡單地說就是把銀塊離子化吹到空氣中以起到殺菌的效果缺點產(chǎn)品成本高，細菌殺滅率低，對病毒幾乎沒有殺滅特性。產(chǎn)品代表：早期的松下空氣凈化器。
第二代：離子技術(shù)
主要原理是運用靜電釋放負離子，吸附集中空氣中的粉塵起到降塵作用，同時負離子對空氣中的氧氣也有電離成臭氧的作用，對細菌有一定的殺滅作用，這類產(chǎn)品優(yōu)點是產(chǎn)品生產(chǎn)成本較低。
第三代：溫等離子技術(shù)
主要原理是，通過給氣體外加電壓至氣體的放電電壓，使氣體被擊穿，產(chǎn)生各種強氧化性的低溫等離子，并在極短時間內(nèi)把接觸。
三、空氣凈化工程的應(yīng)用
空氣凈化工程在提高產(chǎn)品質(zhì)量等方面有很明顯的效果，據(jù)文獻的報導(dǎo)，對于半導(dǎo)體在10000級和l00級潔凈室中制造的產(chǎn)品通過耐壓試驗，在l00級潔凈室和外大氣環(huán)境中進行晶體管涂布擴散，100級潔凈室中產(chǎn)品的性能分布集中，而且峰值出現(xiàn)在更高性能的地方。
但是，和對待任何事物不能絕對化一樣，對待空氣潔凈技術(shù)的作用也不能絕對化，不能把提高產(chǎn)品質(zhì)量的作用完全歸之于它。據(jù)材料分析，例如對于半導(dǎo)體元件部門，空氣潔凈技術(shù)在提高產(chǎn)品質(zhì)量方面的作用大約在整個生產(chǎn)中占的比重為20%，而生產(chǎn)工藝自動化作用的比重占60%，其他因素占20%。當然，在已經(jīng)解決了生產(chǎn)工藝的問題以后，空氣凈化就是主要矛盾，例如超大規(guī)模集成電路，沒有潔凈的環(huán)境，則幾乎是生產(chǎn)不出來的。