電子車間凈化工程概述
電子車間凈化工程是為了提供一個清潔、恒溫、恒濕的環境，以保證電子產品的質量和穩定性。這種工程主要應用于半導體、微電子、光電技術、集成電路、顯示屏、精密儀器制造等領域。
凈化工程的關鍵要素
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空氣凈化系統：
- 電子廠凈化車間通常采用初效、中效、高效三級過濾器來處理空氣。
- 對于不同級別的空氣凈化處理，應選擇合適的過濾器。例如，對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；而對于100級、1000級、10000級及100000級的空氣凈化處理，則應采用初、中、高效三級過濾器。
- 空氣凈化系統的設計需要考慮風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等因素。
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溫濕度控制：
- 電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間，以防止靜電產生，保護CMOS集成不受損壞。
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噪聲控制：
- 電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）不應大于65dB(A)。
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正壓控制：
- 潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
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新鮮空氣量：
- 新鮮空氣量應取補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和，以及保證供給無塵車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3中的較大值。