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電子行業(yè)對潔凈室的要求

來源: 時間:2016-08-05 10:13:35 瀏覽次數(shù):

電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管。電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀。電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構(gòu))等。 

 

電子廠潔凈室電子廠潔凈室

由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。 

 

由于我國電子行業(yè)與國際先進水平差距較大,隨著經(jīng)濟發(fā)展不斷加快,先進技術(shù)不斷進入我國。因此,生產(chǎn)工藝技術(shù)的更新,可謂日新月異,潔凈工程設(shè)計必須要適應(yīng)這么快的變化節(jié)奏。 

 

電子行業(yè)潔凈室的冷負荷比其他行業(yè)的潔凈室大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。 

 

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環(huán)保要求。 

 

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求

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